半导体连续隧道炉烘干线的温度控制
(一)概述
半导体器件需在连续隧道炉烘干线上进行烘干,炉内温度必须按一定要求变化,即有升温、保温、降温过程。所以,隧道炉烘干线的温度控制是很重要的。
(二)系统组成和控制原理
这是一个连续的生产过程。隧道炉烘干线分成7个区,分别装有加热器。需要烘干的半导体路件技时间要求顺序从区运行到第7区(例如根据工艺要确定1, 2区为升温区,3, 4, 5区为保温区,6, 7区为降温风)。温度控制系统由热电偶、调节器、调压器和加热器组成,以控制各区的温度,满足产品的要求,宿迁隧道烘干炉,达到节能的目的。
工业烤箱与隧道炉烘干线的蓬勃发展
这些年来,---是近几年我国工业发展太快了,以前的轻工业,现在慢慢的转为自动化工业,工业炉、隧道炉烘干线的自动化,自运动是什么,是在一些功能的工业炉是完全自动化的,隧道烘干炉生产厂家,少数人操作的炉、隧道炉烘干线前,现在,一个人,一台计算机可以控制整个车间的设备和工业炉隧道炉烘干线温度和启动。
的经济增长是非常快的潜力得到有效释放,卖方市场初步形成。市场的需求是非常大的,在买方市场,因此在工业炉,工业炉等产品,制造商更集中,激烈的竞争。从事工业炉,工业炉,小企业高温炉设备的开发,提高新产品和新产品主要靠产品的推出,相互模仿公司的产品,没有独立的研发和设计新产品的能力,在市场的高温炉和发达还有一定距离,在各地如zhu名的丹麦尼鲁集团工业炉设备制造商,日本大川原公司,市场。在高温炉生产的工业设备行业的高温炉,主要基于产业早期业务逐步推导,根据市场需要设计,设计缺陷。到目前为止,企业主要分布在珠江三角洲,长江三角洲沿海地区的企业,隧道烘干炉价格,几乎占了整个行业的整体的一部分,目前我国还没有工业烘箱,高温炉设备制造企业。
隧道炉
隧道炉是连续式的车底炉,能处理很重的工件。它的炉体是个长的隧道,利用推料机使一列料车首尾相接地在铁轨上运行。这些料车同车底式炉的料车相仿,车面上砌有耐火砖,隧道烘干炉,侧面有砂封。隧道炉烘干线的徽烧室位于炉子两侧。为了使工件均匀受热,应将工件架空起来,燃烧产物可进到工件的下面去。
隧道炉烘干线的好处是可以在产童很大的情况下严格遵守退火的温度曲线,缺点是炉子一旦建成以后,其温度制度就无法变更。所以在工艺制度固定不变的情况下才能采用隧道炉烘干线。
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