半导体连续隧道炉烘干线的温度控制
(一)概述
半导体器件需在连续隧道炉烘干线上进行烘干,炉内温度必须按一定要求变化,即有升温、保温、降温过程。所以,隧道炉烘干线的温度控制是很重要的。
(二)系统组成和控制原理
这是一个连续的生产过程。隧道炉烘干线分成7个区,分别装有加热器。需要烘干的半导体路件技时间要求顺序从区运行到第7区(例如根据工艺要确定1,隧道烘干炉价格, 2区为升温区,3, 4, 5区为保温区,6,隧道烘干炉厂家, 7区为降温风)。温度控制系统由热电偶、调节器、调压器和加热器组成,以控制各区的温度,满足产品的要求,达到节能的目的。
隧道式干燥设备各风阀调整
(一)控制风阀的控制原理与调整设定 1.干头控制梗丝开始进人隧道炉烘干线,补折风气缸工作。使新风风阀必须处于关闭状态,隧道烘干炉,此时无 新风进人,隧道烘干炉生产厂家,排潮风阀开度保持无外逸为佳(调整设备上的连杆)。随着烟si不断 进人,补风与排潮城间逐渐开启直到烟si水分达到工艺要求,此时热风触度也达到设 定值。 2.干尾控制当生产快结束时,烟si流量开始减少,这时应按一定的时间差将新风与排潮风阀 开度逐渐减小,如果关闭新风与排潮风阀不能漪足生产要求,应同时考虑逐渐关闭二 区循环风阀,从而达到减少干尾的目的。
如何操作使隧道炉达到工作性能?
1、输送程序:
(1)电源开关打开后,开启隧道炉输送带运转正常;
(2)调配输送带至该产品所需的速度;
2、异常处理:
(1)如作业中发生马达运转不正常或隧道炉输送带停止移动,应关掉电源,并通知人员维修;
(2)作业中如温度不正常应关掉电源,并通知人员进行维修;
3、安全事项:
(1)严禁烘烤、等物品;
(2)调配温度时避免温度过高,以免造成料件报废或隧道炉烧毁;
4、清洁保养;
(1)每天进行一次机体清洁;
(2)每月进行整机清洁,延长隧道炉的使用寿命;
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